《全國高等職業(yè)教育規(guī)劃教材：集成電路芯片制造實用技術》根據(jù)職業(yè)教育要求和職業(yè)類學生特點編寫，以集成電路芯片的制造工藝流程為主線，涵蓋了集成電路芯片制造的主要技術。全書共分9章，內(nèi)容包括了概述、硅晶圓制程、硅晶薄膜制備、氧化工藝、摻雜工藝、光刻工藝、刻蝕制程、芯片封裝、集成電路芯片品檢。內(nèi)容覆蓋面較寬，淺顯易懂，減少理論部分，突出實用性和可操作性，內(nèi)容上涵蓋了部分工藝設備的操作入門知識，為學生步入工作崗位奠定了基礎。
《全國高等職業(yè)教育規(guī)劃教材：集成電路芯片制造實用技術》適合高等職業(yè)教育電子類專業(yè)學生使用，也可以作為本科電子類學生的專業(yè)選修教材。
出版說明
前言
第1章 概述
1.1集成電路的發(fā)展歷程
1.2集成電路芯片制造工藝流程
1.2.1外延工藝
1.2.2擴散工藝和離子注入技術
1.2.3氧化工藝
1.2.4光刻工藝
1.2.5刻蝕技術
1.2.6薄膜淀積工藝
1.2.7測試
1.2.8封裝
1.3集成電路的生產(chǎn)環(huán)境
1.3.1凈化標準
新書資訊