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硅微機械陀螺誤差建模理論與方法
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庫 存 數(shù):
9
作者:申強,謝建兵,郝永存,常洪龍,苑偉政
出版時間:2023/3/1
ISBN:9787030739490
出 版 社:科學出版社
適用讀者:微機電系統(tǒng)工程(MEMS),傳感芯片技術(shù),微型角速率傳感器等專業(yè)技術(shù)領域基礎研究及工程應用人員
中圖法分類:
TH
頁碼:232
紙張:
版次:31
開本:B5
商品庫位:
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內(nèi)容簡介
目 錄
本書共9章,以硅微機械陀螺為研究對象,通過數(shù)學物理方程推導微機電系統(tǒng)宏模型,采用對稱拓撲設計微機械陀螺結(jié)構(gòu),制訂簡單、高效的工藝加工微機械陀螺,根據(jù)精密控制、電學知識設計微機械陀螺測控電路,從而闡明硅微機械陀螺誤差產(chǎn)生機理,并為減小誤差提供研究思路。本書內(nèi)容新穎,簡明扼要。
ftp://124.17.26.93/curved-toc/9787030739490-curvedToc.pdf
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