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多尺度級聯場增強金屬納米結構的構筑和性能研究

多尺度級聯場增強金屬納米結構的構筑和性能研究

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叢 書 名：清華大學優秀博士學位論文叢書

  • 作者：朱振東
  • 出版時間：2018/12/1
  • ISBN：9787302515050
  • 出 版 社：清華大學出版社
  • 中圖法分類：TB383 
  • 頁碼：128
  • 紙張：
  • 版次：1
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本文針對兩種典型的多尺度體系開展研究，以多尺度結構的低成本、大面積制備為研究重點，以室溫納米壓印和多參數刻蝕為主導，研究多尺度結構制備中的若干共性工藝難題，實現了最小關鍵尺寸的三維金屬納米結構的高質量、穩定可控的制備。
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