本書全面系統地介紹了離散制造過程的批間控制理論及其設計方法，側重于介紹混合制程批間控制研究的近期新進展。全書共7章，分為三大部分，一部分針對混合制程的控制問題，闡述了基于JADE、ANOVA、G＆P-EWMA、貝葉斯估計及擴張狀態觀測器的批間控制理論與設計方法；二部分針對帶測量時延的制程控制問題，給出系統穩定性分析、測量時延概率的估計算法及EWMA濾波器設計方法；三部分結合貝葉斯理論，研究批間控制性能評估方法，并給出批間控制器協同設計策略。本書適合從事離散制造業控制、半導體晶圓加工過程監控、計算機控制、系統工程等研究方向的廣大科技人員閱讀，也可供高等院校相應專業的師生參考。
前言
1章 批間控制概述
1.1 引言
1.2 批間控制算法
1.2.1 基于靜態模型的批間控制器
1.2.2 基于動態模型的批間控制器
1.3 混合制程的批間控制器
1.3.1 線程批間控制算法
1.3.2 非線程批間控制算法
1.4 主要內容
參考文獻
2章 混合制程的批間控制
2.1 引言
2.2 混合制程的線程控制模式
2.3 混合制程的非線程控制模式
2.4 基于JADE的批間控制器設計
2.4.1 基于JADE的狀態觀測器
2.4.2 算例分析
2.5 基于ANOVA的批間控制器設計
2.5.1 基于ANOVA的狀態觀測器
2.5.2 算例分析
2.6 本章小結
參考文獻
3章 G&P-EWMA批間控制
3.1 引言
3.2 G&P-EWMA批間控制
3.2.1 Pb-EWMA批間控制器設計
3.2.2 G&P-EWMA批間控制器設計
3.2.3 G&P-EWMA批間控制器參數優化
3.3 算例分析
3.3.1 數值仿真
3.3.2 工業案例
3.4 本章小結
參考文獻
4章 基于貝葉斯估計的批間控制
4.1 引言
4.2 基于貝葉斯估計的狀態觀測器
4.2.1 貝葉斯估計理論
4.2.2 狀態空間模型
4.2.3 狀態觀測器設計
4.3 算例分析
4.3.1 機臺跳變擾動
4.3.2 機臺漂移擾動
4.3.3 新舊產品交替
4.3.4 模型不匹配
4.3.5 低頻產品
4.3.6 不同擾動下的貝葉斯估計法
4.4 工業數據實例分析
4.5 本章小結
參考文獻
5章 基于擴張狀態觀測器的批間控制
5.1 引言
5.2 基于LESO的批間控制
5.2.1 LESO批間控制器設計
5.2.2 LESO批間控制器穩定性分析
5.2.3 批間控制器的內模控制描述
5.3 基于NLESO的混合制程批間控制
5.3.1 NLESO批間控制器設計
5.3.2 NLESO批間控制器穩定性分析
5.4 算例分析
5.4.1 機臺跳變擾動
5.4.2 機臺漂移擾動
5.4.3 跳變、漂移和IMA（1，1）模型復合擾動
5.4.4 ARIMA（1，1，1）干擾和模型不匹配復合擾動
5.5 工業數據實例分析
5.6 本章小結
參考文獻
6章 帶測量時延制程的批間控制器性能分析
6.1 引言
6.2 帶固定測量時延制程的批間控制器性能分析
6.3 帶時變測量時延制程的批間控制器性能分析
6.3.1 批間控制器穩定性分析
6.3.2 帶固定間隔測量時延制程的批間控制器穩定性分析
6.3.3 帶隨機時變測量時延制程的批間控制器穩定性分析
6.4 帶時變隨機測量時延制程的批間控制器設計
6.4.1 測量時延概率估計
6.4.2 系統輸出靜差調整
6.4.3 系統穩定性分析
6.4.4 算例分析
6.5 本章小結
參考文獻
7章 批間控制器性能評估方法
7.1 引言
7.2 典型干擾下的批間控制性能分析
7.3 基于參數估計的批間控制性能評估算法
7.3.1 參數估計
7.3.2 性能評估指標
7.3.3 算例分析
7.4 基于貝葉斯后驗概率的批間控制性能評估算法
7.4.1 貝葉斯后驗概率
7.4.2 貝葉斯性能評估指標
7.4.3 算例分析
7.5 基于貝葉斯性能評估的批間控制器協同設計
7.5.1 批間控制器協同設計方法
7.5.2 算例分析
7.6 本章小結
參考文獻
新書資訊