基于TSV的三維堆疊集成電路的可測性設計與測試優化技術
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叢 書 名:半導體與集成電路關鍵技術叢書
本書首先對3D堆疊集成電路的測試基本概念、基本思路方法,以及測試中面臨的挑戰進行了詳細的論述;討論了晶圓與存儲器的配對方法,給出了用于3D存儲器架構的制造流程示例;詳細地介紹了基于TSV的BIST和探針測試方法及其可行性;此外,本書還考慮了可測性硬件設計的影響并提出了一個利用邏輯分解和跨芯片再分配的時序優化的3D堆疊集成電路優化流程;最后討論了實現測試硬件和測試優化的各種方法。