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    物質在納米尺度下表現出的奇異現象和規律將改變相關理論的現有框架，使人們對物質世的認識進入到嶄新的階段。用微納米加工方法對微納米材料、器件等進行微結構表征、操縱、控制、加工等，測量其力、熱、光、電、磁等低維物理特性，開展相關基礎理論、方法研究和設備改造、研制，對納米科技的發展具有重要的意義。本書主要包括掃描電子顯微學、透射電子顯微學、聚焦離子束和電子束納米加工技術、氦離子顯微學等的基礎理論，通過一些典型的應用介紹如何運用這些方法實施對材料及其結構的表征、加工等。