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多晶硅生產技術

多晶硅生產技術

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內容簡介

本書講述了改良西門子法生產多晶硅的制備原理，包括多晶硅原料制備、原料提純、多晶硅制備、尾氣回收、硅芯的制備，以及超純水的制備，氫氣、氯氣的制備和凈化等內容。本教材適用于高職高專、中專、技校硅材料技術專業的師生閱讀，也可供多晶硅企業的技術人員參考。

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